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发布时间:2021-11-12 18:16:00 作者:云洁净化
光学微电子行业净化工程设计方案分析:对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,具体的方案选择根据具体情况而定。
无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A型级别,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
在日常的保护中,净化手术室需求留意以下的事项:
1、手术室净化工程的过滤器替换结束后需确认边框无渗漏现象,并用尘埃粒子计数器进行检测,达到技术指标后方可进行正常工作。
2、定时对电气线路进行检修,如有毛病可参照电气原理图进行修理。
3、要定时运用仪器测定设备的各项技术指标,如不契合技术参数要求应及时予以处理。
4、依据实际运用情况,定时将手术室净化工程的初效空气过滤器中的滤料取下清洗。
5、当发现风速变小时应首先查看初效空气过滤器表面是否发黑,若发黑则说明预过滤器容尘较多,阻力增大,即应拆下手术室净化工程初效空气过滤器内的无纺布进行清洗或予以调换。
6、替换空气过滤器时,须拆下喷球板,取出过滤器,按照原有过滤器的规格型号替换新的空气过滤器。装置时应确认过滤器上的箭头符号,箭头应指向气流的方向。并保证密封杰出,避免渗漏。
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