从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。

    在对洁净室净化工程车间进行洁净度检测时，虽然规则了空气的小采样量，但在实际工作中，咱们应在确保小采样量条件条件下，依据已有的检测设备，尽量选用大流量的尘土粒子计数器。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，假如这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有含义。

无尘车间净化工程该如何选择与维护保养呢？

    1.应选择尘土性偏少的净化工程及有关设备，特别是在要留意主题活动一部分的尘土。

    2.应选择浮尘之危害较小的净化工程或插口设备。

    3.制造用的水、汽体、等通常是导致环境污染的缘故，故应配置过滤系统。

    4.设计各设备的配备室内空间时，事前宜考虑到不容易累积微尘的构造，设计各并且以非常容易清理为标准。

    5.机械泵等非常容易造成空气污染物的这种设备，应设定在洁净室外边或送风区，并改装排汽管线排气管。

    6.设定排水管道线、汽体管道和电路系统时，其结构须充分考虑非常容易清理，不容易累积空气污染物。

    7.制造及有关设备应按时清理，以防止微尘的沉积。