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发布时间:2022-06-19 11:16:00 作者:云洁净化
单向流洁净室一般有两种类型,即水平流和垂直流。在水平流系统中,气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的过滤器向室内送风。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为***在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于地位。
无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A型级别,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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