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    无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的很 好地净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。

    无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

     洁净车间地面装饰资料的焚烧功能应契合现行标准《修建内部装饰规划防火规范》GB50354的规则:甲、乙类洁净车间其洁净出产区应运用A型级别资料，同时应满足防火、防静电的特殊要求。丙、丁类洁净车间应运用不低于B2级的资料。技能竖井的壁面必须是非焚烧体，其耐火极限不行少于1小时。井壁上检查门的耐火极限不行少于0.6小时；竖井内涵各层或相隔一层楼板处,应运用等同于楼板耐火极限的非焚烧体做水平防火分隔，穿过水平防火分隔的电缆电线其周围缝隙，应运用非焚烧资料堵塞填充。

    在对洁净室净化工程车间进行洁净度检测时，虽然规则了空气的小采样量，但在实际工作中，咱们应在确保小采样量条件条件下，依据已有的检测设备，尽量选用大流量的尘土粒子计数器。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，假如这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有含义。